光刻機、この「チップ印刷機」と称される高精密機器は、長い間オランダのASMLの代名詞であった。しかし、知られていないのは、この数万の精密部品から成る複雑なシステムの中で、中国企業がいくつかの重要な分野で画期的な進展を遂げ、静かに国産化のプロセスを推進していることである。さあ、このハイテクの世界に入り、業界をリードする「隠れたチャンピオン」の2社について知ろう。

まず登場するのは福晶科技で、この会社は非線形光学クリスタルの分野で独占的な地位を占めています。もし光刻機を超精密なプリンターに例えるなら、レーザーはその中の「インク」といえるでしょう。しかし、普通のレーザーはナノレベルの回路の彫刻要求を満たすことができません。福晶科技のKBBFクリスタルとABOクリスタルはこの問題を解決するために存在し、普通のレーザーを深紫外線に変換することができ、光刻機の精度を大幅に向上させます。さらに、同社は回折光学素子や高回折効率のグレーティングなどの重要部品も製造しており、これらの一見小さな部品は実際には光刻機の解像度と生産能力を決定する上で非常に重要な役割を果たしています。

次に来るのはセイウェイ電子で、この企業はMEMS（微小電気機械システム）チップ分野でリーダー的存在です。もしフォトリソグラフィ装置のレンズを「目」に例えるなら、セイウェイ電子が開発したMEMSレンズは、この「目」を調整する「水晶体」に相当します。この超小型で超精密なレンズは、ナノレベルの精密制御を実現し、フォトリソグラフィ装置の性能向上に不可欠な役割を果たしています。

この二つの企業の成果は、中国の光刻機分野における進展の氷山の一角に過ぎません。より多くの国内企業が各重要なプロセスで突破を実現するにつれて、中国の光刻機技術はさらなる発展を迎え、世界の半導体産業に新しい活力を注入することが期待されます。