Литейная машина, этот высокоточный прибор, который называют "машиной для печати чипов", на протяжении долгого времени был синонимом голландской компании ASML. Тем не менее, мало кто знает, что в этой сложной системе, состоящей из десятков тысяч прецизионных деталей, китайские компании добились прорывных успехов в нескольких ключевых областях, тихо продвигая процесс локализации. Давайте вместе погрузимся в этот высокотехнологичный мир и узнаем о двух "невидимых чемпионах", которые ведут развитие отрасли.

Первым на сцену выходит компания Fuzheng Technology, которая занимает лидирующие позиции в области нелинейных оптических кристаллов. Если сравнить фотолитографическую машину с ультраточным принтером, то лазер будет "чернилами" в этом процессе. Однако обычные лазеры не могут удовлетворить требования по травлению наноразмерных цепей. Кристаллы KBBF и ABO от Fuzheng Technology как раз решают эту проблему, позволяя преобразовывать обычные лазеры в глубокий ультрафиолет, что значительно повышает точность фотолитографических машин. Кроме того, компания производит дифракционные оптические элементы и ключевые компоненты с высокой дифракционной эффективностью, такие как решетки, которые, несмотря на их кажущуюся незначительность, играют решающую роль в определении разрешающей способности и производительности фотолитографических машин.

Следом идет компания Saiwei Electronics, которая занимает лидирующие позиции в области MEMS (микроэлектромеханических систем) чипов. Если мы сравним линзу фотолитографической машины с "глазом", то MEMS-линзы, разработанные Saiwei Electronics, можно считать "хрусталиком", который регулирует эти "глаза". Эти сверхмалые, сверхточные линзы способны обеспечивать контроль на наноуровне и играют незаменимую роль в повышении производительности фотолитографических машин.

Достижения этих двух компаний лишь верхушка айсберга прогресса Китая в области литографии. С учетом того, что все больше местных компаний достигают прорывов в различных ключевых аспектах, у нас есть основания полагать, что технологии литографии в Китае будут развиваться еще более активно, внося новую энергию в глобальную полупроводниковую промышленность.