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光刻機,這個被譽爲"芯片印鈔機"的高精密設備,長期以來一直是荷蘭阿斯麥(ASML)的代名詞。然而,鮮爲人知的是,在這個由上萬個精密零件組成的復雜系統中,中國企業已經在多個關鍵領域取得了突破性進展,默默推動着國產化進程。讓我們一起走進這個高科技世界,了解其中兩家引領行業發展的"隱形冠軍"。
首先登場的是福晶科技,這家公司在非線性光學晶體領域獨佔鰲頭。如果將光刻機比作一臺超精密的打印機,那麼激光就是其中的"墨水"。然而,普通激光難以滿足納米級電路的雕刻需求。福晶科技的KBBF晶體和ABO晶體恰好解決了這個難題,它們能夠將普通激光轉化爲深紫外光,大幅提升光刻機的精度。除此之外,公司還生產衍射光學元件和高衍射效率光柵等關鍵部件,這些看似微小的零件實際上在決定光刻機的分辨率和產能方面起着至關重要的作用。
緊隨其後的是賽微電子,這家企業在MEMS(微機電系統)芯片領域處於領先地位。如果我們將光刻機的鏡頭比作"眼睛",那麼賽微電子研發的MEMS鏡片就好比是調節這雙"眼睛"的"晶狀體"。這種超小型、超精密的鏡片能夠實現納米級的精確控制,對提升光刻機的性能起着不可或缺的作用。
這兩家企業的成就僅僅是中國在光刻機領域進步的冰山一角。隨着更多本土企業在各個關鍵環節實現突破,我們有理由相信,中國的光刻機技術將會迎來更大的發展,爲全球半導體產業注入新的活力。